MBE System 分子束磊晶系统
总部位于美国纽约的Veeco(Nasdaq: VECO)具有领先的技术包括 MOCVD、MBE、ALD、IBE/IBD 及先进薄膜制程技术。
最新研发的GENxplor MBE 系统为业界最早针对化合物半导体研发市场完整整合的分子束磊晶MBE 系统。
● MBE系统
Veeco 可提供业界最广泛的创新型可靠分子束磊晶 (MBE) 系统系列。从用于材料研究的最久经证实之系统，到可实现化合物半导体行业最低拥有成本的硅类工具，无论预算、应用或生长计划如何，我们的系统都能提供所需的高质量材料。
● MBE来源
Veeco还提供最完整的分子束磊晶 (MBE) 源的选择，包括单一或双重灯丝设计。可自定义需要低温、中温或高温的众多元素，能提供生长高纯度结晶硅磊芯片所需的正确蒸汽压力，涵盖从 1cc 至 1700cc 的容量范围。 
● MBE组件
Veeco 的初衷旨在树立作业标准，其设计旨在提供高度可靠、灵活的性能，因此 Veeco 可提供一系列完善的分子束磊晶 (MBE) 系统组件，包括进阶加热器、电源、设备控制器、线缆以及专为分子束磊晶 (MBE) 制程开发的软件套件。

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