MBE System 分子束磊晶系統
總部位於美國紐約的Veeco(Nasdaq: VECO)具有領先的技術包括 MOCVD、MBE、ALD、IBE/IBD 及先進薄膜製程技術。
最新研發的GENxplor MBE 系統為業界最早針對化合物半導體研發市場完整整合的分子束磊晶MBE 系統。
● MBE系統
Veeco 可提供業界最廣泛的創新型可靠分子束磊晶 (MBE) 系統系列。從用於材料研究的最久經證實之系統，到可實現化合物半導體行業最低擁有成本的矽類工具，無論預算、應用或生長計畫如何，我們的系統都能提供所需的高品質材料。
● MBE來源
Veeco還提供最完整的分子束磊晶 (MBE) 源的選擇，包括單一或雙重燈絲設計。可自訂需要低溫、中溫或高溫的眾多元素，能提供生長高純度結晶矽磊晶片所需的正確蒸汽壓力，涵蓋從 1cc 至 1700cc 的容量範圍。 
● MBE組件
Veeco 的初衷旨在樹立作業標準，其設計旨在提供高度可靠、靈活的性能，因此 Veeco 可提供一系列完善的分子束磊晶 (MBE) 系統組件，包括進階加熱器、電源、設備控制器、線纜以及專為分子束磊晶 (MBE) 製程開發的軟體套件。